平晶是利用光波干涉现象测量平行度及平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法，也称技术光波干涉法。借助于平行平晶产生的干涉条纹图案可对测量表面的平行度进行检测。
单位：mm
| 订购编号 Order No. | 规格明细 | 直径 | 厚度 | 平行度 | 平面度 |
| 55150-01 | 高精度平行平晶 | φ30 | 12 | 0.2μm | 0.1μm |
| 55150-02 | 一般精度平行平晶 | φ30 | 12 | 0.4μm | 0.2μm |
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