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平行平晶和平面平晶的区别
   2022-04-14 13050
核心提示:平晶(Optical Flat)是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具。三丰提供的平晶有两种:平行平晶和平面平晶,这二者有什么区别呢?小编为此整理了一张表格,供您参考。
平晶(Optical Flat)是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具。三丰提供的平晶有两种:平行平晶和平面平晶,这二者有什么区别呢?小编为此整理了一张表格,供您参考。

平行平晶

VS

平面平晶


项目平行平晶
平面平晶

英文名称

Optical ParallelsOptical Flats
日文表述
オプチカルパラレル
オプチカルフラット
产品
图片

平行平晶和平面平晶的区别

平行平晶和平面平晶的区别
精度
等级
1级

平行平晶和平面平晶的区别

2级

平行平晶和平面平晶的区别

检测
项目

千分尺测量面的平行度和平面度

测量面的平面度

测量
方式

将平行平晶紧贴测砧的测量面,观察在测力作用下测微螺杆方向产生的红色干涉条纹数量

通过平面平晶的干涉条纹检测平面度

测量
示例

平行平晶和平面平晶的区别

平行平晶和平面平晶的区别

干涉条纹

检测图例

平行平晶和平面平晶的区别

平行平晶和平面平晶的区别

干涉条纹
的说明

上图中为0.32μm×3=0.96μm,平行度约1μm


左图1为沟槽状压痕形成的干涉条纹,0.32μm×4=1.28μm,平面度约1.3μm,

右图2为钵状压痕形成的干涉条纹,0.32μm×2=0.64μm,平面度约0.6μm

 
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